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RLS系列射频产生器

  • 接纳全数字节制,具有便利和丰硕的操纵菜单
  • 进线具有APFC模块,进步输入侧功率因数,下降谐波
  • 具有CEX相位同步功效
  • 3个可编程摹拟量输入

RLS系列射频产生器

合用范畴

光伏财产、平板显现器行业、半导体行业、化财产、尝试室、科研、制作业等。

合用工艺

等离子体加强化学气相堆积(PECVD)、等离子体刻蚀、等离子体洗濯、射频离子源、等离子体分散、等离子体聚合溅射、反映溅射等。

产物特色:

l  机架势装置体例

l  接纳全数字节制,具有便利和丰硕的操纵菜单

l  进线具有APFC模块,进步输入侧功率因数,下降谐波

l  不变靠得住的功放和直流节制模块

l  驻波1.5时仍能输入额外功率

l  具有多种通信接口可选,经由过程通信接口,可完整对电源停止操纵

l  高亮LCD显现,操纵直观

l  具有CEX相位同步功效

l  3个可编程摹拟量输入

l完美掩护功效

      


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